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입자의 박막 코팅 방법 및 이에 적용되는 플라즈마 반응기

김교선;
김동주;
강진이

제목: 입자의 박막 코팅 방법 및 이에 적용되는 플라즈마 반응기

저자: 김교선; 김동주; 강진이

발행일: 2008-09-29

출원번호: 10-2007-0013391

등록번호: 10-0861729

출원일: 2007-02-08

등록일: 2008-09-29