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양극산화 알루미늄 나노패턴을 이용한 3차원 마이크로-나노 하이브리드 패턴 제작

제목
양극산화 알루미늄 나노패턴을 이용한 3차원 마이크로-나노 하이브리드 패턴 제작
저자
김병희; 권종태; 신홍규
발행일
2007-04-05
학회명
제9회 한국MEMS 학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2007-04-05 ~ 2007-04-05

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