ScholarWorks@강원대학교

상세 보기

CFD 시뮬레이션 기반 파티클 오염 최소화를 위한 SEM 시스템 내부 유동 분석

제목
CFD 시뮬레이션 기반 파티클 오염 최소화를 위한 SEM 시스템 내부 유동 분석
저자
김병희; 서영호; 조춘묵; 최인식; 김차엽
발행일
2025-07-17
학회명
한국생산제조학회 2025년도 춘계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2025-07-17 ~ 2025-07-17

ScholarWorks@강원대학교

(24341)강원특별자치도 춘천시 강원대학길 1(효자동) 강원대학교 춘천캠퍼스 중앙도서관 Tel. 033-250-8006, 8025

COPYRIGHT © 강원대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.