Effects of Pulse Modulation on Particle Coating in Pulsed Plasma Chemical Vapor Deposition

  • 김교선
  • 김동주
제목
Effects of Pulse Modulation on Particle Coating in Pulsed Plasma Chemical Vapor Deposition
저자
김교선김동주
발행일
2007-08-27
학회명
the 5th Asia Aerosol Conference
개최국가
대한민국
학회 개최일
2007-08-27 ~ 2007-08-27