Low-thermal budget ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 thin films

제목
Low-thermal budget ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 thin films
저자
김시준
발행일
2021-08-20
학회명
Workshop on Oxide Heterostructures 2021
개최국가
대한민국
학회 개최일
2021-08-20 ~ 2021-08-20