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A study on the thermal budget of ferroelectric TiN/Hf0.5Zr0.5O2/TiN capacitors for next-generation memory applications
- 김시준;
- 조민관;
- 공태호;
- 이승빈;
- 유정규;
- 외 9명
- 제목
- A study on the thermal budget of ferroelectric TiN/Hf0.5Zr0.5O2/TiN capacitors for next-generation memory applications
- 저자
- 김시준; 조민관; 공태호; 이승빈; 유정규; 박혜련; 박성빈; 강종묵; Jin-Hyun Kim; Seojun Lee; Harrison Sejoon Kim; Yong Chan Jung; Jiyoung Kim; 최리노
- 발행일
- 2023-03-07
- 학회명
- IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing (EDTM) Conference 2023
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2023-03-07 ~ 2023-03-10