나노 크기의 구조물이 표면에 형성된 마이크로 크기의 구조물 제작 방법

제목
나노 크기의 구조물이 표면에 형성된 마이크로 크기의 구조물 제작 방법
저자
김병희; 서영호
발행일
2018-03-14
출원번호
10-2016-0041197
등록번호
10-1840438
출원일
2016-04-04
등록일
2018-03-14