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In-situ reflectance absorption infra-red spectroscopy (RAIRS) study on ALD of HfO2 on TiN and Pt electrodes
- 김시준;
- 홍예은;
- 송시언;
- 최리노;
- Jiyoung Kim;
- 외 3명
- 제목
- In-situ reflectance absorption infra-red spectroscopy (RAIRS) study on ALD of HfO2 on TiN and Pt electrodes
- 저자
- 김시준; 홍예은; 송시언; 최리노; Jiyoung Kim; Dan Le; Jin-Hyun Kim; Minjong Lee
- 발행일
- 2023-10-08
- 학회명
- The Electrochemical Society (ECS) Meeting 2023
- 개최국가
- 스웨덴
- 학회 개최일
- 2023-10-08 ~ 2023-10-12