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Low temperature ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 thin films for future electronic device applications
- 제목
- Low temperature ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 thin films for future electronic device applications
- 저자
- 김시준
- 발행일
- 2022-01-24
- 학회명
- 한국반도체학술대회 (The Korean Conference on Semiconductors (KCS))
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2022-01-24 ~ 2022-01-26