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A study on post-etch cleaning chemistries for advanced copper metallization
- 제목
- A study on post-etch cleaning chemistries for advanced copper metallization
- 저자
- 이원규
- 발행일
- 2007-05-07
- 학회명
- 211th The Electrochemical Society Meeting
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2007-05-07 ~ 2007-05-07