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Study for interfaces of H2-ICP treated GE0.938Sn0.062/Ge/Si film using photoreflectance spectroscopy
- 제목
- Study for interfaces of H2-ICP treated GE0.938Sn0.062/Ge/Si film using photoreflectance spectroscopy
- 저자
- 류미이
- 발행일
- 2017-02-17
- 학회명
- 제52회 한국진공학회 동계정기학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2017-02-17 ~ 2017-02-17