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지지 유닛 및 기판 처리 장치

장인배

제목: 지지 유닛 및 기판 처리 장치

저자: 장인배

발행일: 2017-06-27

출원번호: 15/168,995

등록번호: 9,691,601

출원일: 2016-05-31

등록일: 2017-06-27

지식재산권 유형: 특허

양수인: 강원대학교 산학협력단,삼성전자주식회사