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Characterization of epitaxial layer defects in silicon wafers using focused ion beam and transmission electron microscopy
- 임성환;
- 조대형;
- 조지희
- 제목
- Characterization of epitaxial layer defects in silicon wafers using focused ion beam and transmission electron microscopy
- 저자
- 임성환; 조대형; 조지희
- 발행일
- 2005-07-31
- 학회명
- Microscopy and Microanalysis 2005
- 개최국가
- 미국
- 학회 개최일
- 2005-07-31 ~ 2005-07-31