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Effect of bottom electrodes on ferroelectric properties of ALD-Hf0.5Zr0.5O2 films
- 김시준;
- 박혜련;
- 김효정;
- 유정규;
- Jaidah Mohan;
- 외 6명
- 제목
- Effect of bottom electrodes on ferroelectric properties of ALD-Hf0.5Zr0.5O2 films
- 저자
- 김시준; 박혜련; 김효정; 유정규; Jaidah Mohan; Yong Chan Jung; Heber Hernandez-Arriaga; Harrison Sejoon Kim; Jiyoung Kim; 김남훈; 최리노
- 발행일
- 2021-09-20
- 학회명
- European Material Research Society (E-MRS) 2021 Fall Meeting
- 개최국가
- 폴란드
- 학회 개최일
- 2021-09-20 ~ 2021-09-23