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단성분계 산화막으로 구성된 적층형 다층구조박막의 형성과 열처리에 따른 물성분석

제목
단성분계 산화막으로 구성된 적층형 다층구조박막의 형성과 열처리에 따른 물성분석
저자
이원규
발행일
2003-10-24
학회명
2003년도 한국화학공학회 가을 학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2003-10-24 ~ 2003-10-24

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