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진공압력에 의한 PDMS 멤브레인 변형에 따른 PDMS 스탬프의 점착력 평가

제목
진공압력에 의한 PDMS 멤브레인 변형에 따른 PDMS 스탬프의 점착력 평가
저자
김병희; 서영호; 박찬진
발행일
2010-05-06
학회명
2010년도 마이크로/나노 공학부문 춘계학술대회 논문집
개최국가
대한민국
학회 개최일
2010-05-06 ~ 2010-05-07

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