양극산화공정을 이용한 알루미늄 나노링 패턴 제작에 관한 연구

제목
양극산화공정을 이용한 알루미늄 나노링 패턴 제작에 관한 연구
저자
김병희서영호신홍규박용민강명
발행일
2010-04-01
학회명
제 12회 한국 MEMS 학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2010-04-01 ~ 2010-04-03