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Evolution of particle size distributions in pulsed SiH4 plasma reactor
- 김교선;
- 신대용;
- 김동주
- 제목
- Evolution of particle size distributions in pulsed SiH4 plasma reactor
- 저자
- 김교선; 신대용; 김동주
- 발행일
- 2007-01-12
- 학회명
- 8th International Symposium on Eco-Materials Processing and Design
- 개최국가
- 일본
- 학회 개최일
- 2007-01-12 ~ 2007-01-12