광학적 진단법을 이용한 수평형 플라즈마의 공간분포 및 전자여기온도 측정

제목
광학적 진단법을 이용한 수평형 플라즈마의 공간분포 및 전자여기온도 측정
저자
정구환
발행일
2021-12-01
학회명
2021년도 한국표면공학회 추계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2021-12-01 ~ 2021-12-03