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Low-temperature PEALD SiNx on GaN MIS-HEMTs with crystalline interfacial layer
- 제목
- Low-temperature PEALD SiNx on GaN MIS-HEMTs with crystalline interfacial layer
- 저자
- 김시준
- 발행일
- 2019-12-11
- 학회명
- IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference (SISC) 2019
- 개최국가
- 미국
- 학회 개최일
- 2019-12-11 ~ 2019-12-14