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나노채널 진공척

제목: 나노채널 진공척

저자: 서영호; 김병희

발행일: 2022-11-01

출원번호: 10-2021-0006493

등록번호: 10-2463840

출원일: 2021-01-18

등록일: 2022-11-01

지식재산권 유형: 특허

양수인: 강원대학교 산학협력단