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Improvement of Pt/Ta diffusion barrier perforamnce using hybrid conductive oxide(RuO2) for dynamic random access memory capacitor

  • 이성만
제목
Improvement of Pt/Ta diffusion barrier perforamnce using hybrid conductive oxide(RuO2) for dynamic random access memory capacitor
저자
이성만
발행일
1998-02
학회명
제5회 한국반도체학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
1998-02 ~ 1998-02

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