ScholarWorks@강원대학교

상세 보기

Particle Growth in Pulsed SiH4 Plasma Chemical Vapor Deposition Process

  • 김교선; 
  • 김동주
제목
Particle Growth in Pulsed SiH4 Plasma Chemical Vapor Deposition Process
저자
김교선; 김동주
발행일
2007-08-27
학회명
the 5th Asia Aerosol Conference
개최국가
대한민국
학회 개최일
2007-08-27 ~ 2007-08-27

ScholarWorks@강원대학교

(24341)강원특별자치도 춘천시 강원대학길 1(효자동) 강원대학교 춘천캠퍼스 중앙도서관 Tel. 033-250-8006, 8025

COPYRIGHT © 강원대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.