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SiH4 플라즈마 반응기에서 펄스 변조에 의한 미립자 성장 제어

  • 김교선; 
  • 김동주
제목
SiH4 플라즈마 반응기에서 펄스 변조에 의한 미립자 성장 제어
저자
김교선; 김동주
발행일
2007-07-05
학회명
2007 KAPRA & KPS/DPP Conference
개최국가
대한민국
학회 개최일
2007-07-05 ~ 2007-07-05

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