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수평형 ICP 플라즈마 시스템의 광학적 진단 결과를 기반으로한 그래핀의 무결함 질소 도핑 연구

제목
수평형 ICP 플라즈마 시스템의 광학적 진단 결과를 기반으로한 그래핀의 무결함 질소 도핑 연구
저자
정구환
발행일
2021-02-04
학회명
2021년도 한국진공학회 동계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2021-02-04 ~ 2021-02-06

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