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질소 플라즈마를 이용한 ZnO나노와이어의 도핑과 광물성 평가
정구환;
이병주;
조성일;
석은;
허성규;
외 1명
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제목
질소 플라즈마를 이용한 ZnO나노와이어의 도핑과 광물성 평가
저자
정구환;
이병주;
조성일;
석은;
허성규;
이우영
발행일
2022-02-16
학회명
2022년 한국진공학회 동계정기학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2022-02-16 ~ 2022-02-18
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