질소 플라즈마를 이용한 ZnO나노와이어의 도핑과 광물성 평가

  • 정구환; 
  • 이병주; 
  • 조성일; 
  • 석은; 
  • 허성규; 
  • 외 1명
제목
질소 플라즈마를 이용한 ZnO나노와이어의 도핑과 광물성 평가
저자
정구환; 이병주; 조성일; 석은; 허성규; 이우영
발행일
2022-02-16
학회명
2022년 한국진공학회 동계정기학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2022-02-16 ~ 2022-02-18