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Effect of O2 Addition to BC13/C12 Gas Chemistry for Al Etching in Transformer Coupled Plasma Etcher
- 제목
- Effect of O2 Addition to BC13/C12 Gas Chemistry for Al Etching in Transformer Coupled Plasma Etcher
- 저자
- 이원규
- 발행일
- 1999-02
- 학회명
- 제6회 한국반도체학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 1999-02 ~ 1999-02