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ICP 시스템이 결합된 TCVD 장치를 이용한 단일벽 탄소나노튜브의 저온합성 연구

제목
ICP 시스템이 결합된 TCVD 장치를 이용한 단일벽 탄소나노튜브의 저온합성 연구
저자
정구환; 조성일; 이병주
발행일
2020-12-16
학회명
2020년도 한국표면공학회 추계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2020-12-16 ~ 2020-12-18

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