펨토초 레이저와 양극산화공정을 이용한 3차원 마이크로-나노 하이브리드 패턴 제작

제목
펨토초 레이저와 양극산화공정을 이용한 3차원 마이크로-나노 하이브리드 패턴 제작
저자
서영호권종태신홍규
발행일
2007-10-25
학회명
한국공작기계학회 2007 추계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2007-10-25 ~ 2007-10-25