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Comprehensive analysis of the effects of metal precursors and oxygen sources on ferroelectric ALD-HZO thin films
- 김시준;
- 이승빈;
- 민현홍;
- 장광현;
- Jiyoung Kim
- 제목
- Comprehensive analysis of the effects of metal precursors and oxygen sources on ferroelectric ALD-HZO thin films
- 저자
- 김시준; 이승빈; 민현홍; 장광현; Jiyoung Kim
- 발행일
- 2025-06-18
- 학회명
- 2025 한국전기전자재료학회 하계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2025-06-18 ~ 2025-06-18