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Si:H 박막 코팅용 SiH4 플라즈마 반응기에서의 입자

  • 김교선; 
  • 박정훈; 
  • 강진이; 
  • 김동주
제목
Si:H 박막 코팅용 SiH4 플라즈마 반응기에서의 입자
저자
김교선; 박정훈; 강진이; 김동주
발행일
2006-11-10
학회명
한국공업화학회 추계학술발표회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2006-11-10 ~ 2006-11-10

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