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압전 MEMS 스위치 구현을 위한 DLC 구조층에 관한 연구
DLC Structure Layer for Piezoelectric MEMS Switch
- 황현석;
- 이경근;
- 유영식;
- 임윤식;
- 송우창
초록
본 논문에서는 d33 모드로 구동하여 우수한 성능을 가지는 RF-MEMS 스위치의 구현을 위한 희생층과 구조층의 조합으로서DLC와 포토레지스트를 제안하였다. 포토레지스트의 경화현상을 방지하기 위하여 DLC 구조층은 상온에서 RF-PECVD 방법을 이용하여 증착하였다. 그리고 PZT 압전층은 RF 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 상온에서 구조층 위에 증착하였으며, 희생층의제거 후 결정화를 위하여 급속 열처리 (RTA) 장비를 이용하여 후 열처리하였다. PZT의 결정화 과정과 DLC의 기계적 성질의 변화를 다양한 온도조건에 따라 분석한 결과 DLC는 PZT의 결정화 온도까지 영률과 강도면에서 우수한 특성을 나타냄을 확인하였다. 또한 포토레지스트를 사용함으로서 공정을 단순화하고 낮은 비용으로 제작이 가능하였다.
키워드
diamond like carbon (DLC); structure layer; piezoelectric; MEMS; switch
- 제목
- 압전 MEMS 스위치 구현을 위한 DLC 구조층에 관한 연구
- 제목 (타언어)
- DLC Structure Layer for Piezoelectric MEMS Switch
- 저자
- 황현석; 이경근; 유영식; 임윤식; 송우창
- 발행일
- 2011-06
- 유형
- Y
- 저널명
- 한국위성정보통신학회논문지
- 권
- 6
- 호
- 1
- 페이지
- 28 ~ 31