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Machine learning-driven thermal budget analysis for ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 capacitors
- 김시준;
- 강종묵;
- 이승빈;
- 민현홍;
- 장광현;
- 외 5명
- 제목
- Machine learning-driven thermal budget analysis for ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 capacitors
- 저자
- 김시준; 강종묵; 이승빈; 민현홍; 장광현; Minjong Lee; Dushyant M. Narayan; Geon Park; Dan N. Le; Jiyoung Kim
- 발행일
- 2025-06-24
- 학회명
- International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD) 2025
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2025-06-24 ~ 2025-06-24