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수평형 ICP 플라즈마 시스템의 광학적 진단을 통한 플라즈마의 특성 평가

제목
수평형 ICP 플라즈마 시스템의 광학적 진단을 통한 플라즈마의 특성 평가
저자
정구환; 조성일
발행일
2022-02-16
학회명
2022년 한국진공학회 동계정기학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2022-02-16 ~ 2022-02-18

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