ScholarWorks@강원대학교

상세 보기

펄스 SiH4 플라즈마 공정에서의 입자크기분포 변화

  • 김교선; 
  • 김동주; 
  • 이원철; 
  • 임장혁; 
  • 신봉민; 
  • 외 1명
제목
펄스 SiH4 플라즈마 공정에서의 입자크기분포 변화
저자
김교선; 김동주; 이원철; 임장혁; 신봉민; 장창윤
발행일
2008-07-03
학회명
한국 입자에어로졸학회 학술발표회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2008-07-03 ~ 2008-07-05

ScholarWorks@강원대학교

(24341)강원특별자치도 춘천시 강원대학길 1(효자동) 강원대학교 춘천캠퍼스 중앙도서관 Tel. 033-250-8006, 8025

COPYRIGHT © 강원대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.