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Removing copper post etch residue from BEOL process using aqueous chemical solutions
- 이원규;
- 고천광
- 제목
- Removing copper post etch residue from BEOL process using aqueous chemical solutions
- 저자
- 이원규; 고천광
- 발행일
- 2009-10-04
- 학회명
- 216th Electrochemical Society Meeting
- 개최국가
- 오스트리아
- 학회 개최일
- 2009-10-04 ~ 2009-10-09