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ICP 반응기를 이용한 TiO2 박막 증착

  • 김교선; 
  • 김동주; 
  • 강진이
제목
ICP 반응기를 이용한 TiO2 박막 증착
저자
김교선; 김동주; 강진이
발행일
2008-07-03
학회명
2008 KAPRA & KPS/DPP Conference,
개최국가
대한민국
학회 개최일
2008-07-03 ~ 2008-07-04

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