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플라즈마 화학증착법으로 제조된 PbTiO3와 PbZrO3 적층박막구조에서의 PZT 형성

제목
플라즈마 화학증착법으로 제조된 PbTiO3와 PbZrO3 적층박막구조에서의 PZT 형성
저자
이원규
발행일
2003-04-25
학회명
2003년도 한국화학공학회 봄 학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2003-04-25 ~ 2003-04-25

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