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W electrode effect on ferroelectric properties of ALD-Hf0.5Zr0.5O2 films
- 김시준;
- 유정규;
- 박혜련;
- Yong Chan Jung;
- Jiyoung Kim
- 제목
- W electrode effect on ferroelectric properties of ALD-Hf0.5Zr0.5O2 films
- 저자
- 김시준; 유정규; 박혜련; Yong Chan Jung; Jiyoung Kim
- 발행일
- 2022-06-22
- 학회명
- 2022 한국전기전자재료학회 하계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2022-06-22 ~ 2022-06-24