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Rotary CVD 장치를 이용한 방열 소자용 CNT / Al2O3 나노복합체 제조

제목
Rotary CVD 장치를 이용한 방열 소자용 CNT / Al2O3 나노복합체 제조
저자
정구환; 이종환; 한현호
발행일
2023-02-08
학회명
2023년 한국진공학회 동계정기학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2023-02-08 ~ 2023-02-10

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