Effects of process-induced chlorine on electrical characteristics and reliability of IGZO thin-film transistors

  • 김시준; 
  • 김예찬; 
  • 김호영; 
  • 이승빈; 
  • 민현홍; 
  • 외 2명
제목
Effects of process-induced chlorine on electrical characteristics and reliability of IGZO thin-film transistors
저자
김시준; 김예찬; 김호영; 이승빈; 민현홍; 장광현; 나재원
발행일
2026-01-20
학회명
Korean Meeting on Information Display (KMiD)
개최국가
대한민국
학회 개최일
2026-01-20 ~ 2026-01-20