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수평변위 증폭을 위해 구조물의 수직/수평 강성 차이를 이용한 수평구동형 박막 PZT 엑츄에이터의 설계, 제작및 성능평가

제목
수평변위 증폭을 위해 구조물의 수직/수평 강성 차이를 이용한 수평구동형 박막 PZT 엑츄에이터의 설계, 제작및 성능평가
저자
서영호
발행일
2005-04-07
학회명
7회 한국 MEMS 학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2005-04-07 ~ 2005-04-07

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