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Oxygen source effect on ferroelectric properties of atomic layer deposited Hf0.5Zr0.5O2 film
- 김시준;
- 박혜련;
- 김효정;
- 유정규
- 제목
- Oxygen source effect on ferroelectric properties of atomic layer deposited Hf0.5Zr0.5O2 film
- 저자
- 김시준; 박혜련; 김효정; 유정규
- 발행일
- 2021-06-30
- 학회명
- 2021 한국전기전자재료학회 전시회, 워크숍 및 논문 발표회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2021-06-30 ~ 2021-07-02