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RTMOCVD 방법을 이용한 적층형 다층박막(PZT)의 제조와 물성분석

제목
RTMOCVD 방법을 이용한 적층형 다층박막(PZT)의 제조와 물성분석
저자
이원규
발행일
2004-05-07
학회명
2004년도 정기총회(춘계):한국공업화학회 춘계 연구논문발표
개최국가
대한민국
학회 개최일
2004-05-07 ~ 2004-05-07

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