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Investigation of hydrogen effect on ferroelectricity of atomic layer deposited Hf0.5Zr0.5O2 thin film
- 제목
- Investigation of hydrogen effect on ferroelectricity of atomic layer deposited Hf0.5Zr0.5O2 thin film
- 저자
- 김시준
- 발행일
- 2020-10-04
- 학회명
- Pacific Rim Meeting (PRiME) 2020
- 개최국가
- 미국
- 학회 개최일
- 2020-10-04 ~ 2020-10-09