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직교류 미세필터와 나선형 미세채널을 이용한 플라즈마 분리소자

제목
직교류 미세필터와 나선형 미세채널을 이용한 플라즈마 분리소자
저자
김병희; 서영호; 변강일; 김형진; 방현철
발행일
2012-04-05
학회명
제 14회 한국 MEMS 학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2012-04-05 ~ 2012-04-07

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