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Effect of ramp rate during furnace annealing on ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 thin films
- 김시준;
- 조민관;
- 강종묵;
- 공태호;
- 김지희;
- 외 4명
- 제목
- Effect of ramp rate during furnace annealing on ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 thin films
- 저자
- 김시준; 조민관; 강종묵; 공태호; 김지희; 유정규; 박혜련; Yong Chan Jung; Jiyoung Kim
- 발행일
- 2022-06-22
- 학회명
- 2022 한국전기전자재료학회 하계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2022-06-22 ~ 2022-06-24