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SiO2 박막제조용 TEOS/O2 플라즈마 반응기에서의 미립자 오염

  • 김교선
제목
SiO2 박막제조용 TEOS/O2 플라즈마 반응기에서의 미립자 오염
저자
김교선
발행일
2002-06-27
학회명
제23회 한국진공학회 학술발표회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2002-06-27 ~ 2002-06-27

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