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Effect of atomic hydrogen plasma exposure of Si substrate on the formation and light emission of porous silicon.

  • 윤종환; 
  • 정윤진; 
  • 장유성; 
  • 조현지
제목
Effect of atomic hydrogen plasma exposure of Si substrate on the formation and light emission of porous silicon.
저자
윤종환; 정윤진; 장유성; 조현지
발행일
2007-04-19
학회명
2007년 봄 한국물리학회 학술회의
개최국가
대한민국
학회 개최일
2007-04-19 ~ 2007-04-19

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