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Analysis of ferroelectric properties of ALD-Hf0.5Zr0.5O2 thin films according to oxygen source
- 김시준;
- 이승빈;
- 유정규;
- 박혜련;
- 박성빈;
- 외 2명
- 제목
- Analysis of ferroelectric properties of ALD-Hf0.5Zr0.5O2 thin films according to oxygen source
- 저자
- 김시준; 이승빈; 유정규; 박혜련; 박성빈; Yong Chan Jung; Jiyoung Kim
- 발행일
- 2023-02-13
- 학회명
- 한국반도체학술대회 (The Korean Conference on Semiconductors (KCS))
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2023-02-13 ~ 2023-02-15